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日本UNION公司THS-10是一款基于光學焦距檢測方法.結合兩個顯微光學系統（表面和底面），采用精密對焦指示器的非接觸式厚度測量系統。當觀察到準確的位置和圖象時，本機采用光學系統，操作簡單。可清楚顯示準確的對焦位。防爆片刻痕厚度非接觸測量，測量誤差1微米內
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