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日本UNION公司THS-10是一款基于光學(xué)焦距檢測(cè)方法.結(jié)合兩個(gè)顯微光學(xué)系統(tǒng)（表面和底面），采用精密對(duì)焦指示器的非接觸式厚度測(cè)量系統(tǒng)。當(dāng)觀察到準(zhǔn)確的位置和圖象時(shí)，本機(jī)采用光學(xué)系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)單。可清楚顯示準(zhǔn)確的對(duì)焦位。

厚度測(cè)量

THS-10防爆片刻痕測(cè)量

測(cè)量步驟 

1.在工作臺(tái)未放置工件時(shí)，垂直移動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，待兩個(gè)顯示器上都顯示對(duì)焦的符號(hào)后，將Z軸計(jì)數(shù)器歸零.

2 放上工件，移動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，對(duì)工件底部對(duì)焦。

3.移動(dòng)上對(duì)焦系統(tǒng)，對(duì)工件表面對(duì)焦。上對(duì)焦系統(tǒng)移動(dòng)的距離即為工件的厚度

  測(cè)量行程XY 100*100毫米  Z軸25毫米，測(cè)量誤差1微米

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